高精度。各種尺寸,圖形訂制。材質包含:玻璃、石英、陶瓷、菲林、相紙、金屬基材可選。
玻璃標定板-光刻工藝,標準精度單個圖案物理誤差在1μm以內,相鄰圖案物理誤差±1μm。
陶瓷標定板-漫反射,杜絕反光,單個圖案精度物理誤差在1μm以內,相鄰圖案物理誤差±1μm。
主要特點
國際通用的測試基準。
Halcon 標定板標準規(guī)格:
Halcan
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CHG-038-3.0 |
外形尺寸38*38;有邊框圖形尺寸25.6*25.6; 圓點直徑1.5;圓點中心距3.0 |
CHG-050-4.0 |
外形尺寸50*50;有邊框圖形尺寸34*34; 圓點直徑2.0;圓點中心距4.0 |
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CHG-076-6.0 |
外形尺寸76*76;有邊框圖形尺寸51*51; 圓點直徑3.0;圓點中心距6.0 |
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CHG-100-8.0 |
外形尺寸100*100;有邊框圖形尺寸68*68; 圓點直徑4.0;圓點中心距8.0 |